<図書>

Silicon wafer bonding technology : for VLSI and MEMS applications / edited by Subramanian S. Iyer and Andre J. Auberton-Hervé

(EMIS processing series / Series advisor B.L. Weiss;no. 1)

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駒場Ⅱキャンパス

配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 文庫区分 刷 年 コメント
先端研・図書
621.38:S583 7612043187


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出版者 London : INSPEC, The Institution of Electrical Engineers
出版年 c2002
大きさ xxv, 149 p : ill ; 26 cm
一般注記 Includes bibliographical references and index
This series is designed to complement the EMIS datareviews series.--from added T.P.
著者標目 Iyer, Subramanian S.
Auberton-Hervé, Andre J
件 名 LCSH:Silicon-on-insulator technology
LCSH:Integrated circuits -- Very large scale integration
LCSH:Microelectromechanical systems
分 類 DC21:621.38152
本文言語 英語
書誌ID 2001709230
ISBN 0852960395
NCID BA59161161 WCLINK

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