<図書>

MEMS : design and fabrication / edited by Mohamed Gad-el-Hak

(Mechanical engineering series / series editor, Frank Kreith;. The MEMS handbook)

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柏キャンパス

配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 文庫区分 刷 年 コメント
柏図・開架 : hardcover 530:G12 8410263019


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出版者 Boca Raton, Fla. : CRC, Taylor & Francis
出版年 2006
大きさ 1 v. (various pagings) : ill. (some col.) ; 26 cm
一般注記 The MEMS handbook, 2nd ed
"A CRC Press book"--Back cover
Includes bibliographical references and index
著者標目 Gad-el-Hak, Mohamed, 1945-
件 名 LCSH:Microelectromechanical systems -- Design and construction
LCSH:Microfabrication
分 類 LCC:TK7875
DC22:621.381
本文言語 英語
書誌ID 2002342575
ISBN 0849391385
NCID BA75370377 WCLINK

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