<図書>

Ion implantation : basics to device fabrication / by Emanuele Rimini

(The Kluwer international series in engineering and computer science;SECS 293 . Electronic materials : science and technology)

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柏キャンパス

配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 文庫区分 刷 年 コメント
物性研・図書
549:I2 7210093931


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出版者 Boston : Kluwer Academic Publishers
出版年 c1995
大きさ xii, 393 p. : ill. ; 25 cm
一般注記 Bibliography: p. [359]-378
Includes index
著者標目 *Rimini, E.
件 名 LCSH:Ion implantation
LCSH:Semiconductor doping
LCSH:Semiconductors -- Design and construction
分 類 LCC:QC702.7.I55
DC20:621.3815/2
本文言語 英語
書誌ID 2000401405
ISBN 0792395204
NCID BA24882495 WCLINK

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