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Etching of III-V semiconductors : an electrochemical approach / P.H.L. Notten, J.E.A.M. van den Meerakker, J.J. Kelly

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工2・電子
027:511 1010362067


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出版者 Oxford, UK : Elsevier Advanced Technology
出版者 New York, NY, USA : Distributed in the USA and Canada by Elsevier Science Pub. Co.
出版年 c1991
大きさ xiv, 349 p. : 25 cm
別書名 Etching of 3-5 semiconductors
一般注記 Includes bibliographical references and index
著者標目 *Notten, P. H. L. (Peter H. L.)
Meerakker, J. E. A. M. van der (Jan E. A. M. van der)
Kelly, J. J. (John J.)
件 名 LCSH:Semiconductors -- Etching
LCSH:Electrochemistry
分 類 LCC:TK7871.85
DC20:621.381/52
本文言語 英語
書誌ID 2000246926
ISBN 0946395845
NCID BA12478084 WCLINK

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