<図書>

マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ

マイクロ加工の物理と応用 / 吉田善一著

(応用物理学選書;8)

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1

本郷キャンパス

配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 文庫区分 刷 年 コメント
工2・図書室
420.8:O95:8 1010912382

平成28年度シラバス掲載図書
工2・図書室
420.8:O95:8 1010922647

平成28年度シラバス掲載図書
工4・マテリアル
12:Y:06.00 1011765813

シラバスコーナー
工6・物工
S2-O2-8 1050018264

図書室所蔵 学生参考書
3

駒場Ⅰキャンパス

配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 文庫区分 刷 年 コメント
駒場図・4F開架
420:O95:8 3010556409


教養自図
25:K2:8 3450008218


5

柏キャンパス

配架場所 巻 次 請求記号 登録番号 状 態 文庫区分 刷 年 コメント
物性研・図書
420.8:O1:8 7210153461


柏図・書庫2
549.7:Y86 0011817392

U70:2712 柏保管中

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出版者 東京 : 裳華房
出版年 1998.3
大きさ x, 234p ; 22cm
別書名 その他のタイトル:The physics and technology of microfabrication
一般注記 欧文標題は標題紙裏による
付: 参考文献, 参考書
著者標目 吉田, 善一(1957-) <ヨシダ, ヨシカズ>
件 名 BSH:集積回路
BSH:電子光学
NDLSH:半導体
NDLSH:機械工作
分 類 NDC8:549.7
NDC9:549.7
NDC9:549.8
NDLC:ND371
本文言語 日本語
書誌ID 2000755567
ISBN 4785325089
NCID BA35144601 WCLINK

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